| 发明名称 |
TARGET FOR HIGH FREQUENCY SPUTTERING |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6021862(A) |
申请公布日期 |
1985.02.04 |
| 申请号 |
JP19830131237 |
申请日期 |
1983.07.18 |
| 申请人 |
MATSUSHITA DENKI SANGYO KK |
发明人 |
HATA TAKUOKI;IGUCHI TAKASHI |
| 分类号 |
C04B35/453;C04B35/48;C23C14/34;H01L41/18 |
主分类号 |
C04B35/453 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
