PERFECCIONAMIENTOS INTRODUCIDOS EN UN APARATO DE DEPOSICION POR DESCARGA INCANDESCENTE

摘要

SISTEMA DE CATODO DE CORRIENTE ARRIBA O DE PREDEPOSICION PARA SER USADO CON UN APARATO DE DEPOSICION DE DESCARGA LUMINISCENTE, ESTANDO DICHO APARATO ADAPTADO PARA LA PRODUCCION CONTINUA DE DISPOSITIVOS FOTOVOLTAICOS DE GRAN AREA.CONSISTE EN UN MEDIO DE DESCARGA LUMINISCENTE SITUADO CORRIENTE ARRIBA DE LA REGION DE PLASMA DE DEPOSICION, EL CUAL ESTA ADAPTADO PARA DESARROLLAR UNA REGION DE PLASMA CORRIENTE ARRIBA, SIENDO LA PELICULA SEMICONDUCTORA DEPOSITADA SOBRE LA SUPERFICIE DEL SUSTRATO DE UNA COMPOSICION QUIMICA ESENCIALMENTE HOMOGENEA Y UNIFORME A TRAVES DE TODA LA SUPERFICIE DEL SUSTRATO DE AREA GRANDE.