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发明名称
摘要
申请公布号 JPH01502056(A) 申请公布日期 1989.07.13
申请号 JP19870500676 申请日期 1987.01.13
申请人 发明人
分类号 G03B27/32;G02B27/10;G02F1/35;H01L21/30;H01S3/101 主分类号 G03B27/32
代理机构 代理人
主权项
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