| 发明名称 |
MICROWAVE PLASMA PROCESSING METHOD AND APPARATUS THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6016424(A) |
申请公布日期 |
1985.01.28 |
| 申请号 |
JP19830124511 |
申请日期 |
1983.07.08 |
| 申请人 |
FUJITSU KK |
发明人 |
FUJIMURA SHIYUUZOU;YANO HIROSHI |
| 分类号 |
H05H1/46;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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