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发明名称 GASEOUS-PHASE GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6016898(A) 申请公布日期 1985.01.28
申请号 JP19830125003 申请日期 1983.07.08
申请人 MATSUSHITA DENKI SANGYO KK 发明人 BAN YUUZABUROU;MORIZAKI MOTOJI;HASE NOBUYASU
分类号 C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/14 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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