| 发明名称 |
TESTING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6014181(A) |
申请公布日期 |
1985.01.24 |
| 申请号 |
JP19830122923 |
申请日期 |
1983.07.05 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI KK |
发明人 |
SAKAI TSUTOMU;FUNAKOSHI HARUO;KUNO ISAO |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;H01L23/32 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
