发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR LASER ALIGNMENT OF FILM COMPONENTS OF INTEGRAL CIRCUITS
摘要
申请公布号 SU1085425(A1) 申请公布日期 1985.01.23
申请号 SU19802983068 申请日期 1980.09.22
申请人 INSTITUT FIZIKI AN USSR;PREDPRIYATIE P/YA G-4645 发明人 KRAVCHENKO V.I.;ZAIKA V.V.;POPOV V.I.;LANTUKHOV G.I.
分类号 H01C17/242 主分类号 H01C17/242
代理机构 代理人
主权项
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