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发明名称 DEPOSITION OF COATINGS UPON SUBSTRATES UTILISING A HIGH PRESSURE, NON-LOCAL THERMAL EQUILIBRIUM ARC PLASMA
摘要
申请公布号 EP0099724(A3) 申请公布日期 1985.01.23
申请号 EP19830304066 申请日期 1983.07.13
申请人 THE STANDARD OIL COMPANY 发明人 VUKANOVIC, VLADIMIR;FAZEKAS, GEORGE BRUNO;BUTLER, SUSANNAH MARIE;MILLER, JOHN ROBERT
分类号 C23C14/24;C23C14/32;H01L21/205;H01L21/285;H01L31/04;(IPC1-7):C23C13/00 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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