| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0066280(A3) |
申请公布日期 |
1985.01.23 |
| 申请号 |
EP19820104717 |
申请日期 |
1982.05.28 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
SASAKI, YOSHITAKA;KANZAKI, KOICHI |
| 分类号 |
H01L27/088;H01L21/033;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/8234;H01L29/08;H01L29/417;H01L29/73;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L27/088 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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