发明名称 PROCESS CONTROL APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0104845(A3) 申请公布日期 1985.01.23
申请号 EP19830305430 申请日期 1983.09.15
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 MORI, YASUCHIKA;SHIGEMASA, TAKASHI
分类号 G05B21/02;G05B13/00;G05B13/02;G05B13/04;(IPC1-7):G05B13/02 主分类号 G05B21/02
代理机构 代理人
主权项
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