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发明名称 OPTICAL LITHOGRAPHY PROCESS FOR CREATING PATTERNS IN A SILICON SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0087582(A3) 申请公布日期 1985.01.23
申请号 EP19830100693 申请日期 1983.01.26
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 KAPLAN, LEON H.;KAPLAN, RICHARD DEAN;ZIMMERMAN, STEVEN MICHAEL
分类号 G03F7/26;G03F7/039;G03F7/09;G03F7/105;G03F7/11;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/02 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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