| 发明名称 |
SUPPLYING DEVICE OF MASK FOR EXPOSURE TRANSFER DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6012550(A) |
申请公布日期 |
1985.01.22 |
| 申请号 |
JP19830120409 |
申请日期 |
1983.07.04 |
| 申请人 |
NIHON KOUGAKU KOGYO KK |
发明人 |
HAYASHI YUTAKA;IZAWA HISAO |
| 分类号 |
G03F9/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F9/00;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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