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经营范围
发明名称 ELECTRON BEAM CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPS6010720(A) 申请公布日期 1985.01.19
申请号 JP19840097642 申请日期 1984.05.17
申请人 INTERN BUSINESS MACHINES CORP 发明人 SAMIYUERU KEI DOORAN;DONARUDO FURAA HEIA;RARUFU ROBAATO TOROTSUTAA
分类号 H01L21/027;H01J37/304;H01J37/305;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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