| 发明名称 |
TREATING LIQUID SPLASH PREVENTING DEVICE AND METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6010628(A) |
申请公布日期 |
1985.01.19 |
| 申请号 |
JP19840077454 |
申请日期 |
1984.04.16 |
| 申请人 |
MASHIN TEKUNOROJII INC |
发明人 |
MIKAERU JIEI DEBIKO;GIYARII HIRUMAN |
| 分类号 |
H01L21/304;F26B5/08;G03F7/16;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
