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发明名称
摘要
申请公布号 JPS606222(U) 申请公布日期 1985.01.17
申请号 JP19830099205U 申请日期 1983.06.27
申请人 发明人
分类号 C30B25/14;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
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