| 发明名称 |
ACTIVE GAS GENERATING DEVICE AND FORMING METHOD FOR OXIDE HIGH TEMPERATURE SUPERCONDUCTIVE THIN FILM USING THIS DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0585703(A) |
申请公布日期 |
1993.04.06 |
| 申请号 |
JP19920023867 |
申请日期 |
1992.02.10 |
| 申请人 |
YOKOGAWA ELECTRIC CORP |
发明人 |
TONO YASUSHI;UMEZAWA TOSHIMASA;MIZOBUCHI KATSUO |
| 分类号 |
B01J7/00;B01J19/08;C01B13/02;C01B13/14;C01G1/00;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
B01J7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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