| 发明名称 |
A METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE, AND A DEVICE, FOR EXAMPLE A BOMIS FET, SO MANUFACTURED |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0037261(B1) |
申请公布日期 |
1985.01.16 |
| 申请号 |
EP19810301326 |
申请日期 |
1981.03.27 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
MORI, HARUHISA;OGAWA, TSUTOMU;MATSUMOTO, TAKASHI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/20;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/263;H01L21/268;H01L21/331;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/04;H01L29/06;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/268 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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