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发明名称 IMPROVEMENTS IN OR RELATING TO LOADLOCKS
摘要
申请公布号 GB2093132(B) 申请公布日期 1985.01.16
申请号 GB19820001782 申请日期 1982.01.22
申请人 LAM RESEARCH CORP 发明人
分类号 B01J3/02;B01J3/03;B65G49/07;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/00 主分类号 B01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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