发明名称 Process for obtaining negative copies using a 1,2-quinone diazide material.
摘要 Es wird ein Verfahren zur Herstellung von Negativen Reliefkopien beschrieben, bei dem ein lichtempfindliches Material, das ein wasserunlösliches, in wäßig-alkalischen Lösungen lösliches Bindemittel und als lichtempfindliche Verbindung einen Ester oder ein Amid einer 1,2-Benzochinon-2-diazid-4-sulfonsäure, -4-carbonsäure einer 1,2-Naphthochinon-2-diazid-4-sulfonsäure oder -4- carbonsäure enthält, bildmäßig belichtet, danach erwärmt, nach dem Abkühlen nochmals ohne Vorlage belichtet und dann mittels eines wäßrig-alkalischen Entwicklers entwickelt wird. Das Verfahren erlaubt die Herstellung von negativen Kopien mit einem Material, das bei üblicher Verarbeitung positive Kopien liefert.
申请公布号 EP0131238(A1) 申请公布日期 1985.01.16
申请号 EP19840107698 申请日期 1984.07.03
申请人 HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 STAHLHOFEN, PAUL, DR.;MACK, GERHARD, DR.
分类号 G03F7/038;G03C1/52;G03C5/00;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/08 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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