发明名称 |
Process for obtaining negative copies using a 1,2-quinone diazide material. |
摘要 |
Es wird ein Verfahren zur Herstellung von Negativen Reliefkopien beschrieben, bei dem ein lichtempfindliches Material, das ein wasserunlösliches, in wäßig-alkalischen Lösungen lösliches Bindemittel und als lichtempfindliche Verbindung einen Ester oder ein Amid einer 1,2-Benzochinon-2-diazid-4-sulfonsäure, -4-carbonsäure einer 1,2-Naphthochinon-2-diazid-4-sulfonsäure oder -4- carbonsäure enthält, bildmäßig belichtet, danach erwärmt, nach dem Abkühlen nochmals ohne Vorlage belichtet und dann mittels eines wäßrig-alkalischen Entwicklers entwickelt wird. Das Verfahren erlaubt die Herstellung von negativen Kopien mit einem Material, das bei üblicher Verarbeitung positive Kopien liefert.
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申请公布号 |
EP0131238(A1) |
申请公布日期 |
1985.01.16 |
申请号 |
EP19840107698 |
申请日期 |
1984.07.03 |
申请人 |
HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
STAHLHOFEN, PAUL, DR.;MACK, GERHARD, DR. |
分类号 |
G03F7/038;G03C1/52;G03C5/00;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/08 |
主分类号 |
G03F7/038 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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