发明名称 IMPROVED FORMATION OF FINE METAL WIRE
摘要
申请公布号 JPS607432(A) 申请公布日期 1985.01.16
申请号 JP19840097401 申请日期 1984.05.15
申请人 MOTOROLA INC 发明人 FUREDERITSUKU WAI CHIYOO;JIYON AARU JIYOSEFU;FUIRITSUPU EE SHIISU
分类号 G03F7/20;C23F1/00;C23F1/02;G03C5/00;G03C5/08;G03F7/00;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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