发明名称 |
IMPROVED FORMATION OF FINE METAL WIRE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS607432(A) |
申请公布日期 |
1985.01.16 |
申请号 |
JP19840097401 |
申请日期 |
1984.05.15 |
申请人 |
MOTOROLA INC |
发明人 |
FUREDERITSUKU WAI CHIYOO;JIYON AARU JIYOSEFU;FUIRITSUPU EE SHIISU |
分类号 |
G03F7/20;C23F1/00;C23F1/02;G03C5/00;G03C5/08;G03F7/00;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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