发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS605538(A) 申请公布日期 1985.01.12
申请号 JP19840112166 申请日期 1984.05.31
申请人 AMERIKAN TEREFUON ANDO TEREGURAFU CO 发明人 REONAADO SESHIRU FUERUDOMAN;MAARIN UIRUBAATO FUOTSUCHI;ARUBAATO TAIMEN MATSUKURANDAA;BAATORAMU SHIYUWARUTSU
分类号 H01L21/265;H01L21/76;H01L31/18;H01L33/00;H01S5/20;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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