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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07130728(A) 申请公布日期 1995.05.19
申请号 JP19930276445 申请日期 1993.11.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 OGINO MASAHIKO;EGUCHI KUNIYUKI;SEGAWA MASANORI;ARAI KATSUO
分类号 H01L21/316;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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