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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DUENNER GROSSFLAECHIGER KRISTALLSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DD217246(A1) 申请公布日期 1985.01.09
申请号 DD19830253014 申请日期 1983.07.13
申请人 FRIEDRICH-SCHILLER-UNIVERSITAET JENA,DD 发明人 DIEK,MANFRED,DD;FOERSTER,ECKHART,DD
分类号 C23F1/00;H01L21/302;H01L21/461;(IPC1-7):C23F1/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
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