发明名称 COATING APPARATUS
摘要
申请公布号 GB8430313(D0) 申请公布日期 1985.01.09
申请号 GB19840030313 申请日期 1984.11.30
申请人 PILKINGTON BROS PLC 发明人
分类号 H01L31/04;C23C14/56;C23C16/54;H01L21/205 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
地址