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发明名称 FORMATION OF PATTERN
摘要
申请公布号 JPH08328256(A) 申请公布日期 1996.12.13
申请号 JP19950136348 申请日期 1995.06.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 YOSHIMURA TOSHIYUKI;SHIRAISHI HIROSHI;TERASAWA TSUNEO
分类号 G03F7/039;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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