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发明名称
摘要
申请公布号	JPS60945(U)	申请公布日期	1985.01.07
申请号	JP19840075518U	申请日期	1984.05.23
申请人		发明人
分类号	G01D5/26;G01D5/347;H01C10/00;H01L31/08;H01L31/16;(IPC1-7):H01L31/08	主分类号	G01D5/26
代理机构		代理人
主权项
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