发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND FABRICATION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 GB2088627(B) 申请公布日期 1985.01.03
申请号 GB19810029016 申请日期 1981.09.25
申请人 HITACHI LTD 发明人
分类号 H01L21/8226;H01L21/331;H01L21/762;H01L21/8228;H01L27/02;H01L27/082;H01L29/73;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/82 主分类号 H01L21/8226
代理机构 代理人
主权项
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