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发明名称 Implantationsgerät mittels fokusierten Ionenstrahls
摘要
申请公布号 DE69315758(D1) 申请公布日期 1998.01.29
申请号 DE19936015758 申请日期 1993.06.29
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 NAKAMURA, TAKAO, C/O OSAKA WORKS OF SUMITOMO, KONOHANA-KU, OSAKA, JP;IIYAMA, MICHITOMO, C/O OSAKA WORKS OF SUMITOMO, KONOHANA-KU, OSAKA, JP
分类号 H01J37/147;H01J37/20;H01J37/30;H01J37/305;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
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