发明名称 VORRICHTUNG ZUM BEOBACHTEN VON OBJEKTEN MIT SPIEGELNDER, UNEBENER OBERFLAECHE
摘要
申请公布号 DE3424211(A1) 申请公布日期 1985.01.03
申请号 DE19843424211 申请日期 1984.06.30
申请人 ITEK CORP. 发明人 B. ELTERMAN,PAUL
分类号 H05K3/00;G02B21/08;(IPC1-7):G02B27/02;G02B21/06;G02B25/02;H01L21/66 主分类号 H05K3/00
代理机构 代理人
主权项
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