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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR COMPENSATING FOR ASTIGMATISM IN ELECTRON BEAM DEVICES
摘要
申请公布号 GB2074429(B) 申请公布日期 1985.01.03
申请号 GB19810012062 申请日期 1981.04.16
申请人 NICHIDENSHI TECHNICS KK 发明人
分类号 H01J37/153;H01J37/21;(IPC1-7):H01J29/58 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
主权项
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