发明名称 PROCESS FOR GENERATION DOPED REGIONS IN SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号 PL131590(B1) 申请公布日期 1984.12.31
申请号 PL19800223318 申请日期 1980.04.08
申请人 发明人
分类号 H01L;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
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