发明名称 METHOD OF LOCATING LOCAL VOLUME FLAWS IN SEMICONDUCTOR SPECIMENS
摘要
申请公布号 SU1132267(A1) 申请公布日期 1984.12.30
申请号 SU19823517111 申请日期 1982.10.21
申请人 URODOV BORIS,SU;FISHER ZAKHARIJ A,SU 发明人 URODOV BORIS I,SU;FISHER ZAKHARIJ A,SU
分类号 H01L21/66;G01R31/26;G01R31/265;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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