半导体激光器下电极键合机

摘要

一种半导体激光器下电极键合机,属半导体技术领域。本设计集三维微米量级精度调解、角度调解、快速升、降温控制(3分钟从室温升到170℃,5分钟从170℃降至40℃)、压力控制(从1—20克),气体携带管芯,惰性气体保护、光学系统同时检测于一体的下电极键合机,是制作半导体激光器下电极不可缺少的设备。

主权项

1、一种半导体激光器下电极键合机，其特征在于用螺丝固定在托板(1)上的氧体密封箱(2)中，底部固定有导轨(3)，置放于导轨(3)上的托盘板(4)右端面上有一个滑动拉杆(5)穿过密封孔固定在(2)的箱壁上，托盘板(4)上并列安装有加热器架(6)和激光器管芯托盘架(7)；其上固定有铜热沉固定架(9)的加热器(8)置放在加热器(6)的孔内，并将激光器管芯托盘(32)放在托盘架(7)上；四根立柱(19)在密封箱(1)的后部用螺丝固定在托板(1)上，两维微调器(24)和上、上微调器(23)依次叠装在立柱(19)上平面上，(24)的右方和后面设有左右微调旋钮(20)和前后微调旋钮(21)，上下微调器(23)的右侧有上下微调旋钮(22)；通过四个调节臂固定孔(18)，用螺丝在上下微调器(23)上平面上固定有平板直角形调节臂(17),(17)的垂直方向并延伸到密封箱(2)上平面之上的调节臂(17)的前端固定有角度调节器及旋钮(16)、(16)和密封玻璃(26)之间装有下螺纹管(14)，在带孔不锈钢接头(31)和角度调节器(16)之间装有上螺纹管(13)，穿过吸针不锈钢管固定环(11)和上螺纹管(13)、角度调节器(16)、调节臂(17)和下螺纹管(14)及螺纹管密封垫(15)的中心固定有一根吸针杆(管)(12)和吸针(10)，其底部尖端正对着铜热沉固定架(9)的中心；密封箱(2)壁上有氮气入气孔(28)和出气孔(29)；带手柄和密封垫的密封玻璃盖(25)和(27)置于(26)的两侧；通过一个单柱在密封箱前方固定有显微镜(30)。