| 摘要 |
Le dispositif de mise en oeuvre consiste à injecter un gaz sous pression constante et faible par l'intermédiaire d'un gicleur dont la section est homotétique et inscrite dans la forme de la couche déposée de façon à intégrer l'ensemble des variations d'épaisseur de ladite couche. Le gicleur (19, 20) placé au-dessus du dépôt (2) à une distance donnée (z réf) est ensuite placé au-dessus du substrat nu (1) sans modifier la hauteur initiale du gicleur par rapport au substrat de sorte que le substrat se trouve à une distance égale à la somme de la hauteur de référence (z réf) et de l'épaisseur topologique (ev) du dépôt, puis à déplacer verticalement le substrat ou le gicleur de façon à ce qu'en fin de déplacement, le substrat nu se trouve à la distance de référence (z réf), et à détecter cette distance de déplacement qui est égale à l'épaisseur topologique (ev) de la couche. Les distances de référence (z réf) sont détectées au moyen d'un capteur de pression (14,15) basé sur le déplacement d'une colonne de liquide ou sur les modifications de paramètres physiques d'un détecteur solide. |
