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发明名称 DEVICE FOR MEASURING AND CLASSIFYING OF SEMI- CONDUCTOR ELEMENTS
摘要
申请公布号 BG36616(A1) 申请公布日期 1984.12.16
申请号 BG19830062328 申请日期 1983.09.13
申请人 GERGOV,RUMEN P.;MARINOV,MILCHO S.;GEORGIEV,ZHIVKO K.;STANEV,STEFAN G.;VELCHEV,VASIL M.;PETROV,PETR D. 发明人 GERGOV,RUMEN P.;MARINOV,MILCHO S.;GEORGIEV,ZHIVKO K.;STANEV,STEFAN G.;VELCHEV,VASIL M.;PETROV,PETR D.
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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