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发明名称
반도체층 증착장치
摘要
내용 없음.
申请公布号
KR840008211(A)
申请公布日期
1984.12.13
申请号
KR19840001289
申请日期
1984.03.14
申请人
null, null
发明人
요하임 도울러 (외 4)
分类号
H01L31/04;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/54;H01L21/205
主分类号
H01L31/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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