发明名称
摘要
申请公布号 JPS5950922(B2) 申请公布日期 1984.12.11
申请号 JP19790062666 申请日期 1979.05.23
申请人 SHIBAURA ENG WORKS LTD 发明人 NAKAMURA TADAMASA
分类号 G01R33/12;G01L1/00;G01L5/00;G01N27/72 主分类号 G01R33/12
代理机构 代理人
主权项
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