| 发明名称 |
LOW-TEMPERATURE PUMP AT LOW DEGREE OF VACUUM AND METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS59218371(A) |
申请公布日期 |
1984.12.08 |
| 申请号 |
JP19840037195 |
申请日期 |
1984.02.28 |
| 申请人 |
HERITSUKUSU TEKUNOROJII CORP |
发明人 |
JIYON EFU PIITAASON;AREN JIEI BAATORETSUTO |
| 分类号 |
H01J37/18;C23C14/56;F04B37/08;(IPC1-7):F04B37/08 |
主分类号 |
H01J37/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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