| 发明名称 |
DEVICE FOR DETERMINATION OF IMPURITY CONCENTRATION IN SEMICONDUCTOR SPECIMENS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SU1128202(A1) |
申请公布日期 |
1984.12.07 |
| 申请号 |
SU19823482471 |
申请日期 |
1982.08.04 |
| 申请人 |
INSTFIZ POLUPROVODNIKOV SO AN SSSR |
发明人 |
USIK VIKTOR I,SU |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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