发明名称
摘要 <p>PURPOSE:To obtain semiconductor device having reliable wiring layers by covering openings on Si substrate surface with Si, Pt and Au in this order.</p>
申请公布号 JPS5950105(B2) 申请公布日期 1984.12.06
申请号 JP19760004938 申请日期 1976.01.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 KATSUTO HISAO;MURAMATSU SHINICHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L23/48;H01L23/52;H01L29/43 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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