| 发明名称 |
APPARATUS FOR HOLDING DISC-SHAPED SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3166955(D1) |
申请公布日期 |
1984.12.06 |
| 申请号 |
DE19813166955 |
申请日期 |
1981.07.22 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
BONU, BONU, DIPL.-ING. |
| 分类号 |
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68;C23C13/08 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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