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发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM EMITTING DEVICE
摘要
申请公布号 EP1018757(B1) 申请公布日期 2007.11.28
申请号 EP19970941215 申请日期 1997.09.24
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 SATO, MITSUGU;IWABUCHI, YUKO
分类号 H01J37/14;H01J37/141 主分类号 H01J37/14
代理机构 代理人
主权项
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