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发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 IL72796(D0) 申请公布日期 1984.11.30
申请号 IL19840072796 申请日期 1984.08.29
申请人 ANICON, INC. 发明人
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):C23C/ 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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