发明名称 |
METHOD OF PRODUCING INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS59211282(A) |
申请公布日期 |
1984.11.30 |
申请号 |
JP19840057481 |
申请日期 |
1984.03.27 |
申请人 |
ESU JII ESU ATESU KONPONENCHI ERETSUTORONISHI SPA |
发明人 |
PANSANA PEERANJIERO |
分类号 |
H01L21/8247;H01L21/033;H01L21/28;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|