PROCESS FOR FORMING A PROTECTIVE COATING ON INTEGRATED CIRCUIT DEVICES,申请号EP19820104714-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	PROCESS FOR FORMING A PROTECTIVE COATING ON INTEGRATED CIRCUIT DEVICES
摘要
申请公布号	EP0068156(A3)	申请公布日期	1984.11.28
申请号	EP19820104714	申请日期	1982.05.28
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION	发明人	BAISE, ARNOLD IVAN;CZORNYJ, GEORGE;WU, ANTHONY WAI
分类号	H01L23/29;G03F7/025;G03F7/09;G03F7/11;H01L21/027;H01L21/312;H01L23/31;(IPC1-7):G03C1/68;H01L21/31;H01L21/56	主分类号	H01L23/29
代理机构		代理人
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