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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON EPITAXIESCHICHTEN
摘要
申请公布号 DD216052(A1) 申请公布日期 1984.11.28
申请号 DD19830251803 申请日期 1983.06.07
申请人 ADW^DER^DDR ^^,DD 发明人 KUEHNE,^HEINZ ^^,DD;RICHTER,^FRANK ^^,DD;KNOBLOCH,^HELMUT,DD;MALZE,^WILFRIED ^^,DD;KROENERT,^PETER ^^,DD
分类号 C30B25/20;H01L21/223;(IPC1-7):C30B25/20 主分类号 C30B25/20
代理机构 代理人
主权项
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