发明名称 METHOD OF PRODUCING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS59208825(A) 申请公布日期 1984.11.27
申请号 JP19840093090 申请日期 1984.05.11
申请人 AMERIKAN TEREFUON ANDO TEREGURAFU CO 发明人 POORU GUREIBU;RICHIYAADO EDOUIN HAWAADO;EBUIRIN RIN FUU;DONARUDO MIRAN TENANTO
分类号 H01L21/266;H01L21/265 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
主权项
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