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发明名称 LICHTLEITEINRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE60322557(D1) 申请公布日期 2008.09.11
申请号 DE20036022557 申请日期 2003.07.04
申请人 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. 发明人 KAWAI, KAZUHITO;OSAJIMA, TETSUYA
分类号 H01L21/027;B05C11/08;G02B6/04;G02B6/10;G02B6/42;G03F7/16;G03F7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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