APPAREIL DE TRAITEMENT DE TRANCHES SEMI-CONDUCTRICES PAR REACTION DANS UN PLASMA

摘要

L'INVENTION CONCERNE LES APPAREILS DE TRAITEMENT DES TRANCHES SEMI-CONDUCTRICES.ELLE SE RAPPORTE A UN APPAREIL DANS LEQUEL UN MAGASIN 19 TRANSMET DES TRANCHES SEMI-CONDUCTRICES 21 A UN TRANSPORTEUR 23 PUIS A UN DISPOSITIF DE CHARGEMENT 13 QUI FORME UN SAS ET QUI CONTIENT DES BRAS QUI DEPLACENT UNE SERIE DE TRANCHES DEVANT LES FACES 18 MUNIES D'ELECTRODES 24 D'UN CHASSIS TOURNANT. CE CHASSIS EST PLACE DANS UNE CHAMBRE 12 DE REACTION.APPLICATION A LA FABRICATION DES CIRCUITS INTEGRES.