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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5940770(Y2) 申请公布日期 1984.11.20
申请号 JP19780096645U 申请日期 1978.07.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/673;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
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